国家自然科学基金(60978045)
- 作品数：3 被引量：16H指数：2
- 相关作者：郭培基任建锋王建明仇谷烽洪小苗更多>>
- 相关机构：苏州大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金苏州市科技计划项目(应用基础研究计划)江苏省高校优势学科建设工程资助项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 基于圆光栅莫尔条纹的CGH元件对准被引量：2
- 2012年
- 在双计算全息(CGH)检测非球面的方法中,两片CGH元件位置的精确对准是确保高精度测量的必要前提,针对一凸双曲面检测系统,提出了在主CGH的外围刻制四组圆光栅付的方法来实现该系统中CGH元件的精确对准,其原理基于两个栅线频率相近的同心圆光栅重叠能产生莫尔条纹,通过观察条纹的变化来判断两光栅(一组光栅付)的相对偏移,各组光栅付若同时达到同心,两元件亦便对准。通过对圆光栅进行建模,分析了莫尔条纹产生的原理,仿真模拟了Φ5mm口径内分别包含49个和50个同心圆(周期50μm)的两圆光栅在不同偏移时的条纹图,且实际制作了这样的两个圆光栅,并采集了两光栅重叠后的条纹图,其结果表明,眼睛很容易分辨出1/20周期即2.5μm的偏移。
- 洪小苗郭培基
- 关键词：圆光栅莫尔条纹
- 计算全息法检测离轴凸非球面照明镜组初始结构设计被引量：7
- 2012年
- 设计一种特殊的应用于计算全息法(CGH)高精度检测离轴凸非球面系统的照明系统。该照明系统一方面用作参考系统,另一方面将检测光近似垂直投射到待检测镜面上,使得检测系统为近似共光路系统,降低照明系统的制造精度。分析了照明系统的几何光路模型,将复杂的两用途系统简化,得到照明系统工作距离、照明系统焦距以及参考面曲率半径三个特征参量之间的关系。设计时,通过控制这几个特征参量,得到满足检测要求的系统初始结构。设计结果表明,该方法可以满足系统使用要求。
- 任建锋郭培基
- 关键词：全息术照明系统
- 三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理被引量：7
- 2013年
- 为了研究三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理,介绍了三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的原理,对除三坐标测量仪自身误差之外的误差进行了详细的分析,在此基础上建立了校正这些误差的离轴非球面数据处理模型。使用Matlab与C语言混合编程,并进行了数据模拟,对实际离轴非球面进行了测量。在对离轴非球面数据进行模拟时,面形误差PV值小于0.001μm;实际应用时,面形误差PV值约为0.245μm,利用数据处理模型得到的面形误差PV值为1.2μm,达到了三坐标轮廓测量仪本身的测量精度。结果表明,所建立的数据处理模型和处理软件是正确的。
- 王建明郭培基仇谷烽
- 关键词：光学测量离轴非球面三坐标测量仪
