国家科技重大专项(2009ZX02205-004)
- 作品数：3 被引量：18H指数：3
- 相关作者：史振广田志辉刘伟奇隋永新杨怀江更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 曲率半径的高精度测量及其不确定度被引量：7
- 2013年
- 为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法。测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相干涉技术测量干涉腔腔长,通过计算分析得到被测元件的曲率半径。文中描述了该方法的系统构成及其工作原理。结合实例,运用理论分析与软件仿真模拟分析了方法的测量不确定度。最后,利用实验室现有的商用波长移相干涉仪进行了实验验证。对一口径为100mm的球面样品进行曲率半径的测量,得到的结果为157.108 3mm;利用接触式球径仪法对同一样品进行对比测量,结果显示相对误差小于0.02%。与其它目前已有的非接触式曲率半径测量方法相比,提出的方法具有误差源少、测量精度高、易于操作等优点。
- 田志辉史振广刘伟奇杨怀江隋永新
- 关键词：光学元件计算全息
- 超大动态范围日盲紫外辐照度光源被引量：5
- 2012年
- 为实现对动态范围达120dB的日盲紫外增强型电荷耦合器件(SBUV-ICCD)的辐照度定标,设计并实现了超大动态范围日盲紫外辐照度光源。首先估算出SBUV-ICCD的辐照度定标所需的动态范围,其次采用氘灯、积分球、高精度光阑及平直光轨等,基于辐照度距离平方反比定律实现了光谱结构不变,而辐照度在极大动态范围内连续变化的光源,并对其进行了动态范围及稳定性测试。结果表明,该光源实际覆盖辐照度0.278～2.8×10-7μW.cm-2,稳定性为0.93%/3h,能够满足SBUV-ICCD定标的需要,且可复用于紫外探测器面均匀性测试、成像系统辐亮度定标等。
- 周跃闫丰章明朝高松涛
- 高精度平面绝对标定被引量：6
- 2014年
- 在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的power项进行绝对标定。而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面标定,但是液面易受环境影响,重复性难以提高,因此标定精度往往不高。针对这一难题,利用Fizeau干涉仪,采用液面方法对平面的power项单独进行绝对标定,结合旋转平移绝对标定方法对平面其他Zernike项进行标定,从而得到了完整的高精度的平面绝对标定。不仅提高了检测精度,也对平面进行了完整的高精度标定,大大提高了干涉仪的检测精度。
- 苗二龙苏东奇彭石军
- 关键词：面形检测液面
