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湖北省教育厅科学技术研究项目(Q20121501)

作品数:7 被引量:18H指数:3
相关作者:熊礼威汪建华崔晓慧龚国华邹伟更多>>
相关机构:武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室更多>>
发文基金:湖北省教育厅科学技术研究项目国家自然科学基金更多>>
相关领域:化学工程一般工业技术金属学及工艺理学更多>>

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 5篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 3篇气相沉积
  • 3篇金刚石薄膜
  • 3篇化学气相
  • 3篇化学气相沉积
  • 2篇单晶
  • 2篇陶瓷
  • 2篇纳米金刚石薄...
  • 2篇掺硼
  • 1篇单晶硅
  • 1篇单晶硅太阳能...
  • 1篇单晶金刚石
  • 1篇电池
  • 1篇电学
  • 1篇电学特性
  • 1篇断裂韧性
  • 1篇星形
  • 1篇压敏
  • 1篇压敏陶瓷
  • 1篇氧化铝
  • 1篇氧化铝陶瓷

机构

  • 7篇武汉工程大学
  • 3篇湖北省等离子...

作者

  • 7篇汪建华
  • 7篇熊礼威
  • 5篇崔晓慧
  • 4篇龚国华
  • 2篇翁俊
  • 2篇邹伟
  • 1篇谢杰
  • 1篇李伟
  • 1篇周祥
  • 1篇张莹

传媒

  • 5篇武汉工程大学...
  • 1篇表面技术
  • 1篇硬质合金

年份

  • 3篇2014
  • 3篇2013
  • 1篇2012
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
微波烧结氧化铝陶瓷的纳米增韧研究被引量:9
2013年
高纯度氧化铝陶瓷具有极高的机械强度,在航空航天等国防尖端技术领域具有极好的应用前景.针对目前采用普通方法烧结的高纯度氧化铝陶瓷韧性较差的问题,利用圆柱形微波多模烧结腔进行了高纯度氧化铝陶瓷的纳米增韧研究.以氧化铝(质量分数99.9%)、氧化镁(质量分数0.05%)和氧化钇(质量分数0.05%)为基准原料配比,在其中添加不同比例的纳米氧化铝粉末,研究不同比例纳米氧化铝粉末对陶瓷性能的影响.结果表明,当纳米氧化铝粉末添加量达到30%时,高纯度氧化铝陶瓷试样的密度、维氏硬度和断裂韧性分别达到3.92g/cm3、23.2GPa和4.21Pa.m1/2;与未添加纳米氧化铝粉末烧结得到的陶瓷试样相比,密度降低0.5%,但其维氏硬度增加了2.2%,断裂韧性甚至增强了33.7%.
熊礼威张莹汪建华崔晓慧
关键词:微波烧结氧化铝陶瓷维氏硬度断裂韧性
单晶金刚石制备研究进展被引量:5
2012年
相对于多晶金刚石,单晶金刚石具有质量好和纯度高等优点,并且不存在多晶金刚石中的不规则晶界,因此在半导体和机械等行业具有广泛的应用。本文简要介绍了单晶金刚石的制备方法和主要应用领域,并对国内外采用高温高压法和化学气相沉积法制备单晶金刚石的研究成果和最新研究进展进行了综合评述。与高温高压法相比,化学气相沉积法可以高速合成大面积、高质量的单晶金刚石,因此是人工合成单晶金刚石的研究热点。单晶金刚石主要用作切削刀具、光学材料、半导体及电子器件和首饰等。随着大单晶金刚石合成技术的进一步发展,金刚石的应用范围和市场将会更加宽广。
周祥汪建华熊礼威李伟
关键词:单晶金刚石化学气相沉积高温高压
星形微波等离子体化学气相沉积装置上类金刚石薄膜的制备
2013年
以甲烷、氢气和氧气为反应气体,分别在镜面抛光的单晶硅片和石英玻璃基片上制备了类金刚石薄膜,并用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和傅立叶红外透射光谱仪等测试方法对薄膜的表面形貌、质量和光学性能进行了表征;通过对类金刚石(DLC)薄膜制备过程中碳源浓度、基片温度等参数的研究,掌握了工艺参数对薄膜性能的影响规律,并在此基础上成功地对薄膜的沉积工艺进行了优化.结果表明,当反应气体中的流量配比为甲烷∶氢气∶氧气=10∶100∶1,腔体压力和基片温度分别为0.5kPa和400℃,制备出的DLC薄膜表面光滑平整,薄膜中的纳米金刚石特征峰明显,在石英玻璃上沉积的DLC薄膜在3 000~4 000cm-1波数区间透光率超过80%,达到了光学应用要求.
熊礼威崔晓慧汪建华翁俊龚国华张林
关键词:类金刚石薄膜石英玻璃
硼源浓度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响被引量:4
2014年
目的研究纳米金刚石薄膜生长掺硼的内在机理,实现对该过程的精确控制。方法采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气稀释的乙硼烷为硼源,进行纳米金刚石薄膜的生长过程掺硼实验,研究硼源浓度对掺硼纳米金刚石薄膜晶粒尺寸、表面粗糙度、表面电阻和表面硼原子浓度的影响。结果随着硼源浓度的增加,纳米金刚石薄膜的表面粗糙度和晶粒尺寸增大,表面电阻则先下降,而后趋于平衡。结论纳米金刚石薄膜掺硼后,表面电导性能可获得改善,表面粗糙度和晶粒尺寸则会增大。在700℃条件下掺硼15 min,最佳的硼源浓度(以硼烷占总气体流量的百分比计)为0.02%。
熊礼威崔晓慧汪建华龚国华邹伟
关键词:纳米金刚石薄膜掺硼化学气相沉积
基片温度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响被引量:1
2014年
采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气稀释的乙硼烷为硼源进行了纳米金刚石(NCD)薄膜的生长过程掺硼,研究了基片温度对掺硼NCD薄膜晶粒尺寸、表面粗糙度、表面电阻和硼原子浓度的影响.利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察NCD薄膜的表面形貌,并通过Imager软件对原子力显微镜数据进行分析获得薄膜的表面粗糙度及平均晶粒尺寸信息;采用四探针测量掺硼NCD薄膜的表面方块电阻,利用二次离子质谱仪对掺杂后NCD薄膜表面区域的硼原子浓度进行测量.实验结果表明,较高的基片温度有利于提高薄膜的导电能力,但随着基片温度的提高,NCD薄膜的平均晶粒尺寸和表面粗糙度逐渐增大;此外,当反应气体中的乙硼烷浓度一定时,掺杂后NCD薄膜的表面硼原子浓度随基片温度升高存在一个饱和值.在所选乙硼烷浓度为0.01%的条件下,基片温度在700℃左右可以在保证薄膜表面电性能的基础上保持较好的表面形貌.
熊礼威崔晓慧汪建华龚国华邹伟
关键词:纳米金刚石薄膜掺硼化学气相沉积
单晶硅表面磁控溅射铜栅极
2014年
晶硅太阳能电池表面的导电栅极主要用于输出电能,若其与基体间的附着力较差,将会极大地降低电池元件的稳定性和使用寿命,而与其他制备方法相比,物理气相沉积法具有可控性好、成本低等优势.为了继承物理气相沉积法的相关优势,同时能够使铜栅极与基片之间具有良好的附着力,利用磁控溅射法在单晶硅上进行铜栅极的制备实验,研究了磁控溅射过程中溅射功率和工作气压等参数对最终制得的铜栅极附着力的影响.采用超声震荡加强实验检测铜栅极的附着力,使用金相显微镜观察铜栅极的整体形貌及断线率,通过扫描电子显微镜观察铜膜的表面形貌.结果表明在溅射功率为180 W,工作气压为0.8 Pa的条件下制备的铜栅极线宽更为均匀,且进行加强实验后断线率为0.
熊礼威崔晓慧汪建华翁俊龚国华张林
关键词:单晶硅太阳能电池附着力
氧化钐掺杂对氧化锌压敏陶瓷电学特性的影响
2013年
以氧化锌、氧化镨、氧化亚钴、氧化铬和氧化钐作为原料,经配料、球磨、造粒、压片和烧结等工序制得压敏电阻片,采用电流-电压特性测试、X射线衍射和扫描电子显微镜分别获得陶瓷的电性能参数,材料成分和微观结构图.实验结果表明:随着氧化钐含量的增加,氧化锌压敏陶瓷的非线性和压敏电压呈现先增大后降低的趋势.当氧化钐摩尔百分比低于0.3时,非线性系数和压敏电压随氧化钐含量的增加而增大.而氧化钐摩尔分数为0.3%时,压敏陶瓷具有最佳非线性电学特性,非线性系数为35,压敏电压为435伏/毫米;继续增加氧化钐至摩尔分数为0.5%时,非线性系数和压敏电压将会降低.氧化钐绝大多数聚集在晶界层,抑制晶粒生长,从而提高了压敏陶瓷的压敏电压.而极少数氧化钐与氧化锌发生置换反应,降低了氧化锌颗粒的电阻,从而提高了非线性.因此氧化锌压敏陶瓷因掺杂氧化钐提高了电性能而有望应用在高压领域.
汪建华谢杰熊礼威
关键词:氧化钐
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