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教育部科学技术研究重点项目(105115)
作品数:
1
被引量:6
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相关作者:
黄鹰
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易新建
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向思桦
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2007
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微型光扫描器研究
被引量:6
2007年
设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.
黄鹰
向思桦
陈四海
赖建军
易新建
关键词:
微透镜阵列
压电驱动器
微光机电系统
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