国家重点实验室开放基金(51485030105JW0801)
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 相关作者：朱军李以贵贾书海孙潇段炼更多>>
- 相关机构：上海交通大学西安交通大学立命馆大学更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法被引量：3
- 2007年
- 提出了一种新的空心微针阵列加工方法,利用三次同步辐射曝光和显影过程来加工微针．通过无掩膜曝光实现显影腐蚀的侧向扩展,从而获得微针的尖部形状;为克服因同步辐射光源的光束为近似椭圆高斯分布所造成的微针呈椭圆形及微针在各个方向上的强度不均匀问题,采用正交两次曝光方法来补偿同步辐射光源的光束分布不均匀性．这种方法工艺过程非常简单,并且无需任何特殊装置．文中所有实验是在日本立命馆大学的超导压缩存储环同步辐射光源AURORA的第13条线上完成的．实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的空心微针,实现微针阵列的低成本、批量化制造．
- 贾书海李以贵朱军孙潇
- 关键词：微电子机械系统微针光刻
- SU-8光刻胶氧刻蚀的研究被引量：2
- 2006年
- 采用氧气反应离子刻蚀(RIE)SU-8光刻胶,以获得三维SU-8微结构(如斜面)。实验采用套刻、溅射、湿法腐蚀、电镀等技术实现光刻胶上镍掩膜图形化。分别研究氧气气压、射频(RF)功率、氧气流量对刻蚀速率的影响,并对实验结果进行了理论分析,在此基础上可进一步优化刻蚀工艺以获得更高的刻蚀速率。
- 段炼朱军陈迪刘景全
- 关键词：SU-8光刻胶氧气
- 新型MEMS微针设计及其力学性能被引量：7
- 2007年
- 描述了三种新型MEMS微针的结构设计及制备方法.针对微针的实际使用要求,对微针的固体力学性质及微通道内液体的流动情况进行了理论分析和数值模拟.结果表明,所设计的三种微针的强度可以保证安全地进行皮肤注射,且适于进行药剂的微量传输.
- 孙潇贾书海朱军李以贵
- 关键词：微电子机械系统微针有限元
