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国家自然科学基金(11176033)

作品数:7 被引量:8H指数:2
相关作者:李伟姚军熊伟沈京玲范斌更多>>
相关机构:中国科学院电子科技大学首都师范大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金北京市自然科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 6篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇太赫兹
  • 3篇赫兹
  • 2篇电磁材料
  • 2篇阵列
  • 2篇人工电磁材料
  • 2篇滤波
  • 2篇金属
  • 2篇MEMS
  • 1篇电子发射
  • 1篇动态滤波器
  • 1篇悬臂
  • 1篇太赫兹波
  • 1篇太赫兹波段
  • 1篇特性分析
  • 1篇透射
  • 1篇透射特性
  • 1篇平行板
  • 1篇驱动器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇滤波器

机构

  • 6篇中国科学院
  • 5篇电子科技大学
  • 3篇首都师范大学
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 3篇沈京玲
  • 3篇熊伟
  • 3篇姚军
  • 3篇李伟
  • 2篇邱传凯
  • 2篇汪为民
  • 2篇陈泽祥
  • 2篇王强
  • 2篇范斌
  • 1篇罗先刚
  • 1篇李雄
  • 1篇赵泽宇
  • 1篇李宾宾
  • 1篇张俊楠
  • 1篇张铁军
  • 1篇张铁军

传媒

  • 3篇光电工程
  • 2篇半导体光电
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇Scienc...

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2013
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析被引量:1
2015年
静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响。设计并利用表面硅工艺加工制作了三种基于不同弹性系数的静电平行板驱动器的MEMS变形镜,分别采用解析公式和有限元仿真方法分析了弹性系数对变形镜的三项性能参数即行程、吸合电压和固有频率的影响,并利用白光表面轮廓仪进行实验测试,验证了理论和仿真结果的有效性。实验结果表明三种变形镜中半圆环梁驱动器变形镜具有适中的吸合电压和较大的行程,最适合于自适应光学系统的应用需求。
汪为民王强邱传凯陈泽祥范斌
关键词:MEMS变形镜
MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究
2015年
为研究MEMS静电驱动器的场电子发射效应,设计并加工了排斥驱动器和平行板驱动器两种不同结构的静电驱动器,实验测试了电极间漏电流随驱动电压的变化关系,验证了其满足场发射效应的FN理论公式,从而首次观察到静电排斥驱动器的场致电子发射效应。根据测试结果计算得到了所设计的两种MEMS静电驱动器的名义发射面积和场增强因子。由于器件自身的结构设计特征,平行板驱动器相对于排斥驱动器具有更大的名义发射面积和更小的场增强因子。
汪为民王强邱传凯陈泽祥范斌
关键词:MEMS场致电子发射可靠性
Hybrid terahertz metamaterial structure formed by assembling a split ring resonator with a metal mesh被引量:3
2013年
We propose a novel metamaterial structure operating at the terahertz band. This structure is assembled by a split ring resonator (SRR) with a metal mesh within a unit cell. Our experimental studies on the composite structure indicate that the coupling of the SRR and metal mesh significantly contribute to the transparency at the terahertz range. Moreover, we experimentally demonstrated the verity of transmission peak of this structure by changing the relative positions of the SRR and the metal mesh. The simulated electric field redistributions support the dependence between position of the two components and the transmission response. This study is the first to report a hybrid metamaterial structure consisting of an SRR array and a metal mesh within a unit cell. The designed process and resonance characteristics of this composite structure make it an excellent candidate for developing tunable terahertz components via integration with the MEMS (Micro Electronic Mechanical System) technology.
XIONG WeiYAO JunLI WeiSHEN JingLing
关键词:TERAHERTZ
金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性
2013年
本文根据SOI(Silicon-on-insulator)材料在太赫兹波段不透过太赫兹的特点,提出一种加工基于微机电系统(MEMS)可调谐太赫兹器件的新方案,并设计出与梳齿驱动加工工艺十分兼容的金属结构。此结构由金属网格和金属谐振环阵列复合构成,静态的测试表明结构在太赫兹波段显出带通滤波的特性,通过改变两个元件之间的位置,能够实现0.410.53THz带通调谐。此结构加工方法简单,加工过程中只需要一块掩膜版,并且金属结构在MEMS梳齿结构释放之前就已经光刻形成,不需要两个图形的对准工艺,同时也避免了后续光刻对加工好MEMS梳齿结构的破坏。金属网格和金属谐振环构成的复合结构为微机电系统(MEMS)可调谐太赫兹器件提供了一种简单经济的加工方案和新的结构,具有较大的理论价值和实际意义。
熊伟姚军李伟沈京玲
关键词:太赫兹人工电磁材料微机电系统
太赫兹波段单层复合型人工电磁材料的研究
2013年
利用微细加工技术,制作出太赫兹波段人工电磁材料,从实验和理论上研究了金属矩形阵列在太赫兹波段的谐振频率及带宽与矩形长度的关系。并利用谐振频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,将两个不同尺寸的金属矩形结构复合在同一个周期内,制作出单层复合型人工电磁材料。模拟和实验结果表明,单层复合型人工电磁材料实现了调节中心频率、频率拓宽以及多频段带阻功能。此研究为太赫兹滤波器等无源器件提供了新的设计思路和加工方法,对太赫兹科学技术的发展和应用具有重要意义。
熊伟姚军李伟沈京玲
关键词:太赫兹人工电磁材料
复合型金属孔周期阵列的THz透射特性被引量:2
2013年
利用微细加工技术,制作出金属矩形孔阵列,从实验和理论上研究了金属矩形孔阵在THz波段的透射极大值和极小值产生的规律.并利用透射极大值频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,利用不同尺寸的金属孔结构形成复合金属孔阵列,设计出中心频率可调节、频率拓宽的频率选择器件和频率拓宽器件.此研究为太赫兹滤波器等无源器件提供了新的设计思路和加工方法,对太赫兹波技术的发展具有重要意义.
熊伟姚军李伟张铁军沈京玲李宾宾
关键词:THZ滤波
双层SRR可动悬臂阵列太赫兹动态滤波器被引量:2
2016年
本文设计了一种三维双层开口谐振环可动悬臂阵列,利用双层材料(Al和Si O2)之间热膨胀系数的差异,温度控制悬臂的弯曲形变,根据悬臂的可弯曲性来实现太赫兹传输的动态可调,设计出一个太赫兹可调阻带滤波器,可调范围达到0.32 THz。该研究结果对太赫兹可控功能器件如传感器,调制器以及相移器等器件研发具有一定的借鉴意义。
张俊楠李雄张铁军赵泽宇罗先刚
关键词:超材料太赫兹悬臂
共1页<1>
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