您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(60276038)

作品数：2 被引量：5H指数：1
相关作者：倪鹤南王喜莲张国威陈伟平刘晓为更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇无阀微泵
  • 3篇扩散
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 2篇沟道
  • 2篇泵压
  • 2篇硅
  • 1篇喷嘴
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇电系统

机构

  • 3篇哈尔滨工业大...

作者

  • 3篇刘晓为
  • 3篇陈伟平
  • 3篇张国威
  • 3篇王喜莲
  • 3篇倪鹤南
  • 1篇王蔚
  • 1篇张宇峰

传媒

  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇中国微米、纳...

年份

  • 1篇2007
  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究
依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刘掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵。对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散...
张国威刘晓为陈伟平倪鹤南王喜莲
关键词：泵压无阀微泵
文献传递
基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究被引量：1
2005年
依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷嘴的张角为8°时微泵效率最高;扩散口/喷嘴长度为2500μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,无阀微泵的最大泵压和流量分别为14.9kPa和558μL/min.
张国威刘晓为陈伟平倪鹤南王喜莲
关键词：泵压无阀微泵
平面无阀微泵的设计与制作被引量：4
2007年
依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀微泵.经过测试,当扩散口/喷嘴长度为2.5μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,微泵的最大泵压达14.8 kPa,最大流量为558μL/m in.
张宇峰张国威刘晓为陈伟平王喜莲王蔚倪鹤南
关键词：喷嘴无阀微泵微机电系统
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0