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国家科技重大专项(2009ZX02012-002)

作品数:2 被引量:11H指数:1
相关作者:刘延杰吴明月蔡鹤皋刘扭扭刘武龙更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学更多>>
发文基金:国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 1篇短行程
  • 1篇抑制方法
  • 1篇伺服
  • 1篇伺服系统
  • 1篇频率响应
  • 1篇模型辨识
  • 1篇机器人
  • 1篇硅片
  • 1篇硅片传输机器...

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇刘延杰
  • 1篇刘武龙
  • 1篇蔡鹤皋
  • 1篇刘扭扭
  • 1篇吴明月

传媒

  • 1篇机器人
  • 1篇哈尔滨商业大...

年份

  • 2篇2014
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
短行程高加速运动平台模型辨识研究
2014年
为了获得更精准的高加速精密运动平台的数学模型,针对运动平台行程短(毫米级)、高加速度(大于50 m/s2)、辨识实验易超出运行范围的特点,提出一种使用不同频率、幅值正弦激励组合的模型辨识方法,该方法可以保证平台不超行程同时对系统给予充分激励.借助于dSPACE半实物实时仿真系统和Matlab/Simulink软件,通过对输入输出信号频谱分析,测取系统频率响应,对系统进行模型辨识.通过对比离线仿真和dSPACE系统实验,验证该方法的有效性.
刘武龙刘扭扭刘延杰
关键词:频率响应伺服系统模型辨识
基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法被引量:11
2014年
针对硅片传输机器人末端低频振动问题,提出了一种基于最优S曲线轨迹的硅片传输机器人低频振动的抑制方法.该方法通过推导在参数化S型曲线输入条件下非线性时变系统的动态响应近似方程得到系统低频振动的振幅方程,并通过优化振幅方程中的S型曲线参数使得低阶振动振幅达到最小值,从而实现低频振动的抑制.首先对硅片传输机器人进行运动学、末端位置误差以及刚柔耦合动力学建模并进行动态特性分析.随后推导了在参数化S曲线输入条件下系统末端的时域动态响应方程近似解析解与振幅方程近似解析解,并根据硅片传输机器人自身的动态特性给出了最优S曲线参数计算方法.最后分别通过数值仿真分析与实验对该方法进行验证.实验结果表明,应用该方法后硅片传输机器人末端x方向的低频振动的振幅降低了53.9%,y方向的低频振动的振幅降低了45%.
吴明月刘延杰蔡鹤皋
关键词:硅片传输机器人
共1页<1>
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