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中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(072C201301)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：常爱民张东炎武德起赵红生姚金城更多>>
相关机构：中国科学院新疆理化技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇第一性原理
  • 1篇栅介质
  • 1篇栅介质材料
  • 1篇烧蚀
  • 1篇熵力
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光烧蚀
  • 1篇纳米SI晶粒
  • 1篇界面层
  • 1篇介电
  • 1篇介质
  • 1篇晶化
  • 1篇晶化温度
  • 1篇晶粒
  • 1篇晶粒尺寸
  • 1篇环境气体
  • 1篇激光
  • 1篇激光烧蚀
  • 1篇尺寸

机构

  • 3篇中国科学院新...
  • 2篇中国科学院
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇河北大学

作者

  • 2篇赵红生
  • 2篇武德起
  • 1篇姚金城
  • 1篇张东炎
  • 1篇常爱民

传媒

  • 1篇无机材料学报

年份

  • 3篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
第一性原理新进展:GW方法
基于量子力学的第一性原理方法,在计算材料的基态性质上获得了极大的成功,但它也面临着严重的困难:诸如计算的能带隙严重偏低、计算的各种光谱与实验测量结果相差甚远等等.造成这些现象的原因是密度泛函理论的自洽Kohn-Sham方...
赵红生姚金城武德起常爱民
关键词：第一性原理
文献传递
高介电栅介质材料研究进展被引量：6
2008年
传统的栅介质材料SiO_2不能满足CMOS晶体管尺度进一步缩小的要求,因此高介电栅介质材料在近几年得到了广泛的研究,进展迅速.本文综述了国内外对高介电材料的研究成果,并结合作者的工作介绍了高介电栅介质在晶化温度、低介电界面层、介电击穿和金属栅电极等方面的最新研究进展.
武德起赵红生姚金城张东炎常爱民
关键词：晶化温度
环境气体对脉冲激光烧蚀方法制备纳米Si晶粒平均尺度的影响
采用KrF脉冲准分子激光器,烧蚀高阻抗单晶Si靶,在10Pa的混合惰性气体环境下沉积制备了纳米Si薄膜.X射线衍射谱测量证实纳米Si晶粒已经形成.利用拉曼散射和扫描电子显微镜对所形成的纳米Si薄膜进行了分析,结果表明:随...
武德起王英龙张东炎赵红生常爱民
关键词：纳米SI晶粒脉冲激光烧蚀晶粒尺寸熵力
文献传递
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