国家自然科学基金(90307003)
- 作品数：53 被引量：165H指数：7
- 相关作者：张玉林卢文娟宋会英魏强孔祥东更多>>
- 相关机构：山东大学东营职业学院泰山学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金山东省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程交通运输工程更多>>
- 扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制
- 2006年
- 针对目前扫描隧道显微镜超高精度位移的要求,提出了一种基于神经网络的精密工作台控制方案。在分析微位移机构工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络辨识器在线辨识工作台的机械参数,神经网络自学习PID控制器代替传统PID控制器,实现了样本的在线采集,有效克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点。利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变控制器的控制系数,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,相对于传统PID控制算法,参考位移量为10μm时,达到稳态值的时间从3.8 s缩短到1.8 s,稳态误差从4.2%减小到1.9%。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜工作台压电陶瓷神经网络
- 微安培检测器的研制被引量：4
- 2006年
- 安培检测器的设计中,电化学池通电后产生的微电流信号极其微弱,往往淹没在噪声中很难采集识别。根据安培检测和恒电位器原理,利用数据放大器采集放大微弱信号,研制了一种新型微安培检测器。微安培检测器电路性能稳定,实验测试的结果与理论值符合很好,其中微电流测试电路不仅可应用于微安培检测器中,还可配上不同的传感器用于其它测量微弱电流信号的场合。
- 张欣张玉林伍海龙魏守水
- 关键词：恒电位器数据放大器程控电压源
- 电子束曝光机偏转系统及可动物镜分析被引量：4
- 2004年
- 电子束大扫描场偏转系统设计中 ,像差的确定是一个必须解决的实际问题。以SDS 3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础 ,以双通道扫描原理进行扫描 ,分析了像差与电子束主轨迹的关系。给出了可动物镜的条件 ,并利用这一条件分析电子束最佳轨迹的结构和方法。并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由该电子束曝光机试验结果表明 ,复合系统结构简单紧凑 ,像差小而可以不用动态校正。采用矢量描写电子轨迹 ,以积分式表示像差。以 0 .0 0 5rad半张角 ,5× 10 -5的高压纹波 ,5 0mm的像距 ,10mm× 10mm扫描场的边脚处 ,使动态校正前的总像差为 0 .0 3μm。
- 尹明张玉林
- 关键词：偏转系统像差动态校正光刻技术
- 电子束真空辐射固化技术基础研究被引量：7
- 2004年
- 提出了电子束真空辐射固化技术新概念,并对该技术的固化机理等进行了阐述。通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-II型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究,得出SDS-II型曝光机可以用于液态低聚物辐射固化的结论。在此基础上使用SDS-II型曝光机在20kV的加速电压、2μC/cm2的曝光剂量下,对经真空挥发处理过的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)液态低聚物进行了曝光试验,得到了固化结构。基本上证明了电子束真空辐射固化液态低聚物的可行性,为微机电三维微结构的加工提供了一种新方法。
- 孔祥东孙晓军张玉林宋会英
- 关键词：低聚物电子束真空
- 干道交叉口交通信号的模糊控制设计被引量：6
- 2006年
- 城市主干道往往承受着巨大的交通负荷,而干道交叉路口的交通流控制效果的好坏直接影响着整个城市的交通状况.以城市主干道交叉口为研究对象,提出了一种实用的交通流模糊控制算法.在现有的模糊控制算法的基础上,增加了绿灯延时终止算法,该算法通过对绿灯延时的细微调整,防止了不必要的绿灯延时,从而利用模糊逻辑对绿信比进行了优化.仿真结果表明,该控制方法比固定配时控制方法能更好地减少行车延误时间.
- 赵建玉贾磊朱文兴杨立才
- 关键词：模糊控制交通控制仿真
- 细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解被引量：1
- 2005年
- 以电子束偏转磁场的像差和畸变为目标,对参量进行非劣解中找出贴近理想的最优解。以SDS 3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,分析了像差与电子束主轨迹的关系。并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴的3级几何像差系数和1级色差系数公式。应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正。
- 尹明吕风杰张其武
- 关键词：电子束像差像散
- 低成本PCR微反应器阵列的温度测量与控制技术被引量：1
- 2007年
- 设计了一种用于聚合酶链式反应的低成本微反应器,其内部无微加热器、微传感器。针对这种低成本的微反应器,提出了一种温度测量与控制方案,其特点是将各反应器温度的集中控制与分散控制有机结合,能够同时完成上百只微反应器快速、准确的温度循环。重点阐述了温度传感器负荷效应的提取与补偿、动态误差补偿、微反应器温度间接测量误差评定、微反应器温度串级控制策略。
- 李现明张玉林李建田
- 关键词：微反应器聚合酶链式反应
- 电子束光刻的快速邻近效应校正被引量：3
- 2007年
- 提出了实现电子束光刻的快速邻近效应校正的分级模型。首先利用矩阵实现内部最大矩形和顶点矩形的快速替换,然后对内部最大矩形和顶点矩形进行校正迭代。在校正迭代的过程中,用局部曝光窗口与曝光强度分布函数直接卷积计算邻近图形对关键点产生的有效曝光剂量,将整个曝光块近似为一个大像点,以计算全局曝光窗口中的曝光图形对关键点产生的有效曝光剂量,实现了快速图形尺寸校正。在与同类软件精度相同的情况下,提高了运算速度。
- 宋会英张玉林于肇贤郝慧娟
- 关键词：邻近效应校正
- 电子束液态曝光技术中的穿透深度预测研究
- 2006年
- 穿透深度预测是电子束液态曝光技术中的一个重要课题。采用对比分析的方法对MonteCarlo模拟和Grun公式在预测液体抗蚀剂穿透深度中的适用性进行了研究,得出了可以使用这两种方法对高能电子在液体抗蚀剂中的穿透深度进行预测的结论,并以环氧618为液体抗蚀剂进行实验验证,证明了结论的正确性,拓宽了两种方法的适用范围,为不同厚度液体抗蚀剂涂层穿透所需加速电压的快速、准确选定提供了参考依据。
- 孔祥东冯圣玉卢文娟张玉林
- 关键词：电子束MONTE
- 电子束加速器维纳尔的研究(英文)
- 2005年
- 由于电子束理论上可聚成直径小于 1nm的束斑 ,易于控制 ,在超大规模集成电路掩模制造中起的重要作用 ,目前仍无法用其他方法所代替 .以SDS 3电子束设备的电子枪为基础 ,讨论了双曲凹面加速器维纳尔 (外敷碱土金属氧化物盖 )的电子轨迹与能量分布 .通过这一维纳尔电子被送达硅片靶心 (置于光阑前 ) .最后给出了刻蚀硅片的束斑和加速器维纳尔的图 .
- 尹明周晓雁
- 关键词：电子束电子轨迹加速器
