许维
作品数： 5被引量：2H指数：1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

王盛凯
作品数：152被引量：13H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
刘洪刚
作品数：184被引量：12H指数：2
供职机构：桂林电子科技大学
研究主题：沟道 迁移率 衬底 半导体器件 硅基
王英辉
作品数：33被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：键合 衬底 压阻 压力传感器 半导体器件
陈大鹏
作品数：675被引量：451H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
徐杨
作品数：19被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：薄膜晶体管 键合 点压 热压键合 沟道
作品列表