王英辉
作品数: 33被引量:4H指数:1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:金属学及工艺
  • 发文基金:中国科学院科研项目

相关作者

尚海平
作品数:55被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:压力传感器 压阻 衬底 非制冷红外成像 平面阵列
王玮冰
作品数:121被引量:81H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 压阻 红外光源
王盛凯
作品数:152被引量:13H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
徐杨
作品数:19被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:薄膜晶体管 键合 点压 热压键合 沟道
孙业超
作品数:7被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:压阻 压力传感器 承压 SIC 边线