傅剑宇
作品数: 57被引量:9H指数:2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

陈大鹏
作品数:674被引量:449H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
殷华湘
作品数:733被引量:17H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
许高博
作品数:155被引量:12H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
李俊峰
作品数:514被引量:7H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
李俊杰
作品数:185被引量:3H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备