-
张浩然
-
-
- 所属机构:国家纳米科学中心
- 所在地区:北京市
- 研究方向:一般工业技术
相关作者
- 刘前
- 作品数：68被引量：0H指数：0
- 供职机构：国家纳米科学中心
- 研究主题：激光直写 金属薄膜 激光直写系统 基底 狭缝
- 王闯
- 作品数：9被引量：16H指数：2
- 供职机构：中国科学院
- 研究主题：激光直写 激光直写系统 光刻 自动聚焦 超分辨
- 李建政
- 作品数：3被引量：0H指数：0
- 供职机构：国家纳米科学中心
- 研究主题：大规模集成电路 氧化性 选择比 光刻胶 微纳加工
- 朱星
- 作品数：130被引量：310H指数：12
- 供职机构：北京大学
- 研究主题：近场光学 表面等离激元 扫描近场光学显微镜 近场光学显微镜 光纤
- 郭传飞
- 作品数：20被引量：0H指数：0
- 供职机构：国家纳米科学中心
- 研究主题：激光直写 产品尺寸 光电薄膜 二元合金 金属薄膜
