王艾
作品数: 39被引量:3H指数:1
  • 所属机构:北京七星华创电子股份有限公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

徐冬
作品数:78被引量:4H指数:1
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 承载器 半导体 异常状态 半导体设备
张乾
作品数:25被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 炉体 温度补偿方法 温度补偿 半导体
孙少东
作品数:124被引量:18H指数:2
供职机构:淮安信息职业技术学院
研究主题:炉体 半导体 立式 半导体工艺设备 立式炉
田博
作品数:6被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式炉 补偿方法 半导体 功率补偿 计算功率
周厉颖
作品数:31被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:炉体 半导体 半导体工艺设备 保温层 风道