2024年12月17日
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闫桂珍
作品数: 2
被引量:0
H指数:0
所属机构:
清华大学
所在地区:
北京市
相关作者
赵淑明
作品数:10
被引量:9
H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:硅 谐振式加速度计 基底表面 谐振式 玻璃基
董景新
作品数:190
被引量:538
H指数:11
供职机构:清华大学
研究主题:加速度计 微机械加速度计 微机电系统 微机械 微加速度计
刘云峰
作品数:53
被引量:29
H指数:3
供职机构:清华大学
研究主题:加速度计 谐振式加速度计 微机械加速度计 硅 基底表面
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