阮聪
作品数： 5被引量：1H指数：1
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

宋亦旭
作品数：83被引量：256H指数：8
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 元胞 微电子加工 机器人 刻蚀工艺
孙晓民
作品数：71被引量：118H指数：7
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 元胞 微电子加工 OSEK 汽车电子
杨宏军
作品数：15被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学
研究主题：微电子加工 元胞 刻蚀 元胞自动机 等离子体刻蚀
作品列表