-
张峰
-
-
- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家高技术研究发展计划
相关作者
- 林志浪
- 作品数:23被引量:15H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:波导 反应离子刻蚀 原位合成 烧结助剂 制作方法
- 王永进
- 作品数:15被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
- 程新利
- 作品数:82被引量:13H指数:3
- 供职机构:苏州科技大学
- 研究主题:非晶薄膜 极板 敏感元件 谐振电抗器 FE-ZR-B
- 王曦
- 作品数:528被引量:250H指数:9
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
- 陈志君
- 作品数:8被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:掺ER 波导 ER 反应离子刻蚀 光致发光