-
闫志瑞
-
-
- 所属机构:北京有色金属研究总院
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家高技术研究发展计划
相关作者
- 周旗钢
- 作品数:75被引量:162H指数:9
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
- 库黎明
- 作品数:26被引量:35H指数:4
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
- 冯泉林
- 作品数:23被引量:7H指数:2
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
- 常青
- 作品数:17被引量:44H指数:4
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
- 索思卓
- 作品数:7被引量:12H指数:1
- 供职机构:北京有色金属研究总院
- 研究主题:抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度