裴舒
作品数: 29被引量:98H指数:7
  • 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 所在地区:吉林省 长春市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

马月英
作品数:51被引量:115H指数:7
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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曹健林
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金春水
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曹健林
作品数:49被引量:188H指数:8
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射