明安杰
作品数: 60被引量:54H指数:5
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家高技术研究发展计划

相关作者

陈大鹏
作品数:675被引量:451H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
王玮冰
作品数:121被引量:81H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 压阻 红外光源
毛海央
作品数:117被引量:94H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:热电堆 纳米 MEMS 红外光源 衬底
熊继军
作品数:776被引量:931H指数:12
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器
谭秋林
作品数:365被引量:466H指数:10
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源