-
蒋世磊
-
-
- 所属机构:西安工业大学光电工程学院
- 所在地区:陕西省 西安市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 张锦
- 作品数：135被引量：216H指数：8
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院
- 研究主题：光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
- 孙国斌
- 作品数：56被引量：78H指数：5
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院
- 研究主题：光学设计 衍射光学元件 光阑 多光束干涉 磁控溅射
- 程刚
- 作品数：239被引量：466H指数：10
- 供职机构：中国矿业大学
- 研究主题：并联机构 并联 动平台 电牵引采煤机 电牵引
- 魏全忠
- 作品数：35被引量：71H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光学系统 光刻物镜 投影光刻物镜 亚微米 成象
- 弥谦
- 作品数：147被引量：167H指数：7
- 供职机构：西安工业大学
- 研究主题：离子能量 类金刚石膜 离子镀 类金刚石薄膜 光学薄膜
