张玉春
作品数: 1被引量:1H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信

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孙义林
作品数:7被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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作品数:15被引量:26H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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作品数:3被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束混合 离子束 氧化层 高分辨率