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严利人
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- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 周卫
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- 作品数:87被引量:40H指数:4
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:晶圆片 半导体制造设备 激光 半导体制造技术 激光加工
- 窦维治
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- 作品数:59被引量:2H指数:1
- 供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
- 研究主题:晶圆片 半导体制造设备 激光 激光加工 半导体制造技术
- 刘朋
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- 作品数:57被引量:5H指数:1
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:晶圆片 半导体制造设备 激光 半导体制造技术 激光加工
- 刘志弘
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- 作品数:157被引量:53H指数:5
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 锗硅
- 张伟
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- 作品数:349被引量:530H指数:12
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 基极电阻