-
马平
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡松
- 作品数：466被引量：421H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 唐小萍
- 作品数：122被引量：324H指数：10
- 供职机构：西藏自治区气候中心
- 研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
- 严伟
- 作品数：144被引量：113H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：生物芯片 光刻 工件台 纳米光刻 成像系统
- 徐文祥
- 作品数：27被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 投影光刻机 掩模 光束 动镜
- 赵立新
- 作品数：222被引量：68H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
