-
阎佐健
-
-
相关作者
- 冯彬
- 作品数：23被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院
- 研究主题：磁控 镀膜设备 磁控溅射 溅射 离子枪
- 曾志群
- 作品数：6被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院
- 研究主题：涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
- 潘福全
- 作品数：6被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院
- 研究主题：涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
- 李求恕
- 作品数：9被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院
- 研究主题：涡轮分子泵 抽气装置 超高真空 高精密 夹持
- 石长友
- 作品数：4被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院
- 研究主题：涡轮分子泵 机械泵 线列 磁力线 磁控溅射
