-
冯泉林
-
-
- 所属机构:北京有色金属研究总院
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 周旗钢
- 作品数：75被引量：162H指数：9
- 供职机构：北京有色金属研究总院
- 研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
- 闫志瑞
- 作品数：19被引量：90H指数：5
- 供职机构：北京有色金属研究总院
- 研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
- 常青
- 作品数：17被引量：44H指数：4
- 供职机构：北京有色金属研究总院
- 研究主题：硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
- 李宗峰
- 作品数：5被引量：3H指数：1
- 供职机构：北京有色金属研究总院
- 研究主题：氩 高温退火 高温 退火 CZ硅单晶
- 库黎明
- 作品数：26被引量：35H指数：4
- 供职机构：北京有色金属研究总院
- 研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
