2024年8月26日
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董晓文
作品数: 16
被引量:14
H指数:2
所属机构:
中国科学院电工研究所
所在地区:
北京市
研究方向:
电子电信
相关作者
司卫华
作品数:23
被引量:15
H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 反应离子刻蚀
顾文琪
作品数:99
被引量:76
H指数:4
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
刘泽文
作品数:189
被引量:149
H指数:6
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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