-
施志贵
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
- 所在地区:四川省 绵阳市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:中国工程物理研究院科学技术发展基金
相关作者
- 张照云
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:76被引量:24H指数:2
- 供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
- 研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
- 彭勃
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:55被引量:69H指数:4
- 供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
- 研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
- 高杨
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:327被引量:528H指数:12
- 供职机构:重庆大学
- 研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
- 席仕伟
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:25被引量:41H指数:4
- 供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
- 研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
- 苏伟
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:84被引量:23H指数:2
- 供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
- 研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层