-
朱煜
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 张鸣
- 作品数：400被引量：279H指数：10
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
- 杨开明
- 作品数：269被引量：450H指数：11
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
- 尹文生
- 作品数：321被引量：657H指数：12
- 供职机构：华中科技大学
- 研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
- 徐登峰
- 作品数：208被引量：54H指数：5
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
- 胡金春
- 作品数：215被引量：147H指数：7
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
