-
徐锋
-
-
- 所属机构:西南科技大学信息工程学院
- 所在地区:四川省 绵阳市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡松
- 作品数:468被引量:436H指数:8
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 周绍林
- 作品数:84被引量:67H指数:5
- 供职机构:华南理工大学
- 研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
- 陈旺富
- 作品数:27被引量:43H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
- 李金龙
- 作品数:34被引量:14H指数:3
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 工件台 掩模 节流孔 六自由度
- 谢飞
- 作品数:11被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜