-
张剑云
-
-
- 所属机构:复旦大学
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 张卫
- 作品数:794被引量:296H指数:9
- 供职机构:复旦大学
- 研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
- 王季陶
- 作品数:89被引量:192H指数:9
- 供职机构:复旦大学
- 研究主题:金刚石 相图 化学气相淀积 低压 热力学
- 丁士进
- 作品数:219被引量:165H指数:8
- 供职机构:复旦大学
- 研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
- 刘志杰
- 作品数:24被引量:32H指数:3
- 供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
- 研究主题:金刚石 相图 金刚石薄膜 热力学 非平衡定态
- 王鹏飞
- 作品数:273被引量:75H指数:6
- 供职机构:复旦大学
- 研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流