谭刚
作品数: 32被引量:30H指数:3
  • 所属机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
  • 所在地区:四川省 绵阳市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:中国工程物理研究院科学技术发展基金

相关作者

吴嘉丽
作品数:38被引量:64H指数:6
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
李仁锋
作品数:18被引量:30H指数:3
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 低压化学气相淀积 LPCVD
席仕伟
作品数:25被引量:41H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
唐海林
作品数:20被引量:46H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:太赫兹 微陀螺 微机械陀螺 固有频率 仪器仪表技术
唐彬
作品数:106被引量:36H指数:3
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层