王亚军
作品数： 1被引量：0H指数：0
  • 所属机构:河北半导体研究所
  • 所在地区:河北省 石家庄市
  • 研究方向:一般工业技术

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李锁印
作品数：131被引量：69H指数：5
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：校准 测量不确定度 膜厚 校准方法 均匀性
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