-
方瑞芳
-
-
- 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
相关作者
- 曾爱军
- 作品数:228被引量:255H指数:11
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
- 黄惠杰
- 作品数:491被引量:654H指数:16
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
- 刘龙海
- 作品数:20被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:起偏器 测量方法 计算机组成 锁相放大器 波片
- 朱玲琳
- 作品数:56被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
- 熊超
- 作品数:7被引量:13H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:移相 达曼光栅 参考光 球面干涉仪 图像数据处理