庞亚军
作品数： 1被引量：0H指数：0
  • 所属机构:电子部
  • 研究方向:电子电信

相关作者

段立安
作品数：5被引量：4H指数：1
供职机构：电子部
研究主题：光刻机 光学 照明 VLSI 分辨率
周得时
作品数：6被引量：2H指数：1
供职机构：电子部
研究主题：光刻机 分步光刻机 弹性导轨 VLSI ULSI
杨建忠
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：电子部
研究主题：半导体工艺设备 半导体工艺 半导体材料 分步重复投影光刻机 光刻机
作品列表