搜索到 篇“ CMOS-MEMS “的相关文章

相关作者

杨富华
作品数：460被引量：236H指数：7
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
朱银芳
作品数：32被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：高灵敏 电极 惠斯通电桥 圆片级 原胚
杨晋玲
作品数：102被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：谐振器 圆片级 电极 淀积 谐振结构
黄庆安
作品数：912被引量：848H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 微电子机械系统 无源无线 微机电系统
崔建功
作品数：60被引量：2H指数：1
供职机构：中北大学
研究主题：电容式 超声换能器 电极 微机械 金属