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林峰
作品数:20被引量:71H指数:5
供职机构:福建师范大学光电与信息工程学院医学光电科学与技术教育部重点实验室
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王洋
作品数:14被引量:56H指数:4
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刘俊伯
作品数:96被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
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张磊
作品数:150被引量:177H指数:8
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胡松
作品数:468被引量:436H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片