搜索到 篇“ 金属纳米晶 “的相关文章

相关作者

刘明
作品数：1,354被引量：401H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
宋晓艳
作品数：402被引量：734H指数：14
供职机构：北京工业大学
研究主题：硬质合金 纳米晶 放电等离子烧结 SUB WC-CO硬质合金
丁士进
作品数：219被引量：164H指数：8
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
张卫
作品数：785被引量：294H指数：9
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 晶体管 存储器 电极 隧穿
朱晨昕
作品数：49被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 浮栅 扩散炉 金属纳米晶 多值