搜索到 篇“ 金属互连线 “的相关文章

相关作者

林宏
作品数：49被引量：5H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：空气隙 填充金属 铜互连 硅片 金属互连线
黄如
作品数：1,173被引量：351H指数：11
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 沟道 存储器 晶体管 超大规模集成电路
陈岚
作品数：890被引量：161H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
叶甜春
作品数：829被引量：654H指数：10
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
康晓旭
作品数：423被引量：2H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构