搜索到 篇“ 纳米加工技术 “的相关文章

相关作者

刘明
作品数:1,341被引量:397H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
刘波
作品数:313被引量:112H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 存储器 电阻
宋志棠
作品数:1,044被引量:326H指数:8
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
陈宝钦
作品数:198被引量:257H指数:9
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
封松林
作品数:652被引量:460H指数:11
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器