搜索到 篇“ 空间电荷区 “的相关文章

相关作者

曾翔君
作品数：116被引量：287H指数：10
供职机构：西安交通大学
研究主题：电力电子集成模块 空间电荷区 低导通电阻 导电类型 MOSFET器件
李述体
作品数：166被引量：166H指数：7
供职机构：华南师范大学
研究主题：MOCVD GAN 氮化镓 外延片 MOCVD生长
吴燕红
作品数：36被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
杨恒
作品数：146被引量：136H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
王跃林
作品数：719被引量：794H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合