搜索到 篇“ 硅微加速度计 “的相关文章

相关作者

徐大诚
作品数:132被引量:240H指数:8
供职机构:苏州大学电子信息学院
研究主题:标定方法 MEMS陀螺 硅微加速度计 传感器 行进间
苏岩
作品数:287被引量:259H指数:9
供职机构:南京理工大学
研究主题:陀螺 单晶硅片 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计
张文栋
作品数:1,193被引量:1,677H指数:19
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 超声换能器
裘安萍
作品数:174被引量:271H指数:11
供职机构:南京理工大学
研究主题:单晶硅片 硅 玻璃衬底 硅微陀螺仪 谐振式加速度计
肖定邦
作品数:308被引量:247H指数:8
供职机构:国防科学技术大学
研究主题:陀螺 振动陀螺 谐振结构 谐振子 电极