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罗军
作品数：466被引量：33H指数：3
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赵超
作品数：565被引量：35H指数：4
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研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
钟汇才
作品数：380被引量：40H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 介质层 栅极 衬底 侧墙
王华明
作品数：243被引量：2,049H指数：26
供职机构：中国工程院
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李俊峰
作品数：514被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极