搜索到 篇“ 物理仿真 “的相关文章

相关作者

陈兴林
作品数：339被引量：834H指数：15
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
刘杨
作品数：242被引量：262H指数：9
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
李宗哲
作品数：26被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 气浮 垂向 伺服机构 三轴气浮台
陈震宇
作品数：49被引量：1H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 气浮 光刻机 垂向 伺服机构
牟小刚
作品数：85被引量：142H指数：8
供职机构：北京控制工程研究所
研究主题：气浮台 航天器 全物理仿真 物理仿真 星体