搜索到 篇“ 深反应离子刻蚀 “的相关文章

相关作者

王跃林
作品数：719被引量：794H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
李昕欣
作品数：536被引量：376H指数：10
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
冯进军
作品数：492被引量：476H指数：11
供职机构：北京真空电子技术研究所
研究主题：行波管 太赫兹 慢波结构 W波段 折叠波导慢波结构
陈宜方
作品数：58被引量：4H指数：1
供职机构：复旦大学
研究主题：电子束光刻 波带片 高宽比 光刻胶 掺杂
王文辉
作品数：31被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学
研究主题：硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底