搜索到 篇“ 数字鉴相 “的相关文章

相关作者

严伟
作品数：145被引量：118H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
张正荣
作品数：13被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：电子束曝光机 双频激光干涉仪 数字鉴相 光刻机 处理电路
胡松
作品数：466被引量：428H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
唐小萍
作品数：122被引量：327H指数：10
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
邓玖根
作品数：8被引量：15H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：双频激光干涉仪 数字鉴相 CPLD USB2.0 底面对准