搜索到 篇“ 振梁加速度计 “的相关文章

相关作者

张照云
作品数：78被引量：24H指数：2
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
苏伟
作品数：84被引量：23H指数：2
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
彭勃
作品数：55被引量：69H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
熊壮
作品数：61被引量：13H指数：2
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
唐彬
作品数：106被引量：37H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层