搜索到 篇“ 微机械 “的相关文章

相关作者

王跃林
作品数：719被引量：789H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
廖小平
作品数：671被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学
研究主题：微波功率传感器 漏电流 硅基 悬臂梁 功率传感器
朴林华
作品数：166被引量：96H指数：6
供职机构：北京信息科技大学
研究主题：微机械 陀螺 气流式 敏感元件 角速度传感器
熊斌
作品数：218被引量：194H指数：7
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
李昕欣
作品数：522被引量：367H指数：10
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻