搜索到 篇“ 微光刻技术 “的相关文章

相关作者

陈宝钦
作品数：198被引量：268H指数：9
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
侯德胜
作品数：63被引量：142H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
冯伯儒
作品数：109被引量：225H指数：9
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
张锦
作品数：137被引量：224H指数：8
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
汤跃科
作品数：9被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学